Komponenten für das Wafer-Handling

Hochreine Perlast® Perfluorelastomere finden breite Verwendung als Pads von Endeffektoren, denn dank ihrer vollständig organischen Zusammensetzung setzen Sie keine Partikel frei.

Wir bei PPE sind Experten für Lösungen mit geringen Kontaktkräften und setzen unser Werkstoff-Know-how und unsere modernen Konstruktionsmethoden, beispielsweise die nichtlineare Finite-Elemente-Analyse, dafür ein, Sie bei der Optimierung Ihrer Konstruktionen zu unterstützen.

Auch kleine O-Ringe sind ein häufig verwendetes Bauteil im Wafer-Handling, aber insbesondere die kundenspezifisch konstruierten Endeffektor-Pads sorgen für ein verbessertes Wafer-Handling durch optimierte Haftung des Pads an den Effektoren und eine vereinfachte Montage.

Elastomere von PPE gibt es mit geringen und mit hohen Reibungskoeffizienten, um die Wafer-Haftkraft flexibel gestalten zu können.