Halbleiterindustrie

Die Produktionsumgebungen in der Halbleiterindustrie gehören zu den aggressivsten Einsatzgebieten für Dichtungen. Dichtungen müssen aus hochreinen Werkstoffen hergestellt sein und dürfen durch extreme Temperaturen und ein Gemisch fluorierter Gase nicht angegriffen werden. Aus diesen Gründen zählen Dichtungen für die Halbleiterindustrie zu den Spitzenprodukten der Werkstofftechnik.

Unser Team aus Wissenschaftlern und Technikern hat eine umfangreiche Reihe von Hochleistungs-Compounds speziell für den Einsatz unter kritischen Bedingungen der Halbleiterfertigung entwickelt. Diese Werkstoffe halten Temperaturen bis zu 325 °C in aggressiven Medien stand und verfügen gleichzeitig über Vorteile wie verlängerte Wartungszyklen, geringere Partikelfreisetzung und geringere Leckraten von Plasmakammern.

Die neueste Generation von Perlast® Perfluorelastomeren bieten weiter verbesserte Eigenschaften, erweiterte Funktionalität, beste Medienbeständigkeit, minimale Kontamination und längere Standzeiten in trockenen und nassen Wafer-Prozessen.

Reinheit
Alle Werkstoffe und Komponenten für die Halbleiterindustrie werden in zwei speziell konzipierten, insgesamt 400 m2 großen Reinräumen hergestellt. Atmosphärische Verunreinigungen, die die Wafer-Ausbeute verringern können, werden hierdurch ausgeschlossen

Weitere Informationen über die Perfluorelastomer-Produktreihe Perlast® für Halbleiteranwendungen finden Sie unter www.perlast.com

MONOVAT® Vakuumventil (Abbildung oben) ist eine eingetragene Marke der VAT Vacuumvalves AG.