Schlitzventil-Schieber
PPE bietet eine Reihe von Profilen, mit denen die Dichtungsintegrität und die Standzeit für einvulkanisierte und lose Perlast®-Dichtungen von Schlitzventil-Schiebern erhöht wird.
Perlast® Schieber maximieren die Wafer-Ausbeuten und Wartungsabstände mithilfe von ultrareinen, durchscheinenden Perfluorelastomeren ohne anorganische Füllstoffe wie z. B. Metalloxide oder Kieselsäuren, wodurch eine Partikelfreisetzung in dynamischen Schieberanwendungen und damit eine Prozesskontamination praktisch ausgeschlossen wird.
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Schlitzventil-Schieber genau nach Ihren Anforderungen
Kundenspezifisch geformte O-Ringe, die dem Verlauf einer Rechtecknut folgen, verlängern die Dichtungsstandzeit ganz erheblich durch Wegfall der beim Kreisquerschnitt üblichen Belastungen in den Ecken. PPE unterstützt Sie bei der Optimierung der Nutauslegung für die Verwendung von Dichtungen mit Kreisquerschnitt oder bietet Nachrüstlösungen für vorhandene Geräte. Für Neukonstruktionen können die Fachleute von PPE eine Beratung zur Bedienung und Steuerung der Tür anbieten, durch die Leckagen vermieden und die Standzeiten der Dichtungen maximiert werden können. Große Ventildichtungen für die Flachbildschirm- und Solarzellenfertigung sind als nahtlos geformte Teile verfügbar. |
Perlast® G67P auf MONOVAT® steigerte Wafer-Ausbeute auf das Dreifache Ein großer Halbleiterhersteller in Asien hatte Probleme mit Kontaminationen und geringer Wafer-Ausbeute in einem Low-K-CVD-Prozess im System Producer®. Die dynamischen MONOVAT®-Schieber waren mit herkömmlichen weißen FFPM-Dichtungen ausgestattet und mussten alle 15.000-30.000 Wafer ausgetauscht werden. Nach dem Umstieg auf MONOVAT®-Schieber mit Perlast® G67P erzielt dieser Chiphersteller über 90.000 Wafer mit demselben Dichtungssatz - eine erhebliche Kostenersparnis. Gründe hierfür sind die ultrareine Werkstoffzusammensetzung, die überlegene Chemikalienbeständigkeit und die hervorragenden mechanischen Eigenschaften der Perlast®-Werkstoffe. MONOVAT® ist eine eingetragene Marke der VAT Vakuumventile AG. |
